由于这台开运体育·（中国）有限公司官网器在半年前就出现了最低负压值偏高的现象,经检査是压力传感器老化引起,但其参数指标还能满足程序运行的要求,所以一直没更换。从目前设备的运行参数分析,怀疑是压力传感器故障导致的。在维修时还是要先检査管路,把可能存在泄漏的部件及管道都仔细检査一遍,确认没问题后运行测漏程序,负压还是在-0.103bar就降不下来了,在程序的保压阶段负压值也很稳定。
由此分析腔体及管道部分正常。接下来检测压力传感器,把该传感器和另外一台正常开运体育·（中国）有限公司官网器上的互换,为保证其准确性,要按照每个传感器的参数表更改相应设备随机存储器里面的压力传感器参数值,互换完成后分别运行PS测漏程序。经运行P5测漏程序发现原来怀疑有故障的传感器运作正常,而正常的传感器换过来后反而不行,负压也是在-0.103bar就降不下来了,这说明不是传感器问题，把传感器换回来后继续对设备进行检査,经过多次运行P5测漏程序检査分析,发现真空泵在-0.150bar压力后及在解除门封压力过程时的工作噪声都很小,没有刺耳的气蚀声,因为随着腔体真空性能的提升真空泵噪声会随之增大。
